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发布时间:2022-08-31 13:09:00 作者:厚礼博
流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。,我们认为如果用户要将流量控制在期望的设定值,那么其稳定容许范围也必须落在设备精度范围内。
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流量控制器的特点
地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。
适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);高压改变了振动管的内应力,提高了弹性管的等效刚度,从而使振动管的振动频率增大,两管的相位差减小。有很宽的流量范围,我们的产品流量范围可达0~5 sccm,流量范围可达0~200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% 量程比为-- 50:1, 因此在很多领域得到广泛应用。
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流量控制器
使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制质量流量控制器的低压降产品?
部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源, 气压很低, 用普通MFC, 不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明, 定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC, 这时MFC的工作压差范围, 也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在MFC中结露, 结露会影响MFC的正常工作。为了防止结露, 可以对管路和MFC适当加温, 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温MFC产品。倘若液体中含有悬浮颗粒物,抽湿过程可能会留下固体颗粒,从而导致质量流量计或质量流量控制器内留有残渣。
怎样进行不同气体的质量流量换算?
产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体,当流量检测值相同时,实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体(氮气)的质量流量转换系数。
如果您使用的产品是标准出厂产品(按氮气标定显示),而需要知道实际使用气体的质量流量时,先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中,以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量;流量控制器质量流量控制器在正常工作时,流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力,它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的,简称科氏力。反之,在确定所购产品的量程时,以实际使用气体的期望流量值除以转换系数,即是相应的氮气标定产品的流量值。
空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体,其转换系数约为1.0 , 一般可直接用按氮气标定显示的产品,不必换算。
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