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什么是流量控制器

质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。流量控制器的控制响应速度物理时间常数物理时间常数用希腊字母Tau来表示，是现今为数不多的用来描述响应时间的标准之一，即：控制器到达设定值某个百分比所需要的时间，被定义为1-1/e，其中e是作为自然对数底数的无理数，其值为2。特点：精度高，重复性好。

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质量流量计工作原理

质量流量计是采用感热式测量，通过分体分子带走的分子质量多少从而来测量流量，因为是用感热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果。质量流量计是一个较为准确、快速、可靠、稳定、灵活的流量测量仪表，在石油加工、化工等领域将得到更加广泛的应用，相信将在推动流量测量上显示出巨大的潜力。质量流量计是不能控制流量的，它只能检测液体或者气体的质量流量，通过模拟电压、电流或者串行通讯输出流量值。但是，质量流量控制器，是可以检测同时又可以进行控制的仪表。质量流量控制器本身除了测量部分，还带有-个电磁调节阀或者压电阀，这样质量流量控制本身构成-个闭环系统，用于控制流体的质量流量。流量控制器安全使用准则①质量流量控制器应用的成功与否，与安装有直接关系。质量流量控制器的设定值可以通过模拟电压、模拟电流，或者计算机、PLC 提供。

质量流量控制器主要参数

质量流量精度： ±0.002×流量±零点漂移

密度测量精度： ±0.003g／cm3

密度测量范围： 0.5~1.5g／cm3

温度测量范围： ±1°C

传感器相关数据：

环境温度： －40~60°C

介质温度： －50~200°C

防爆类型： iBⅡBT3

关联设备： 配套变送器

(3) 变送器相关数据：

工作温度： 0~60°C

相对湿度： 95%以下

电 源： 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W

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流量控制器的具体内容

1.提高开表率在仪表设备管理中，开表率的定义是：(仪表总台数一未正常使用的仪表台数)/仪表总台数。因此，提高开表率就是要减少无法投入正常使用的仪表。

2.节省费用这里所说的费用除了仪表购置费之外，还应计入附件购置费、安装调试费、运行费、备品备件费、维护和定期校准(检定)费，而质量流量控制器的平均寿命摊入的折旧费也不是可忽视的。

3.提高流量测量系统的可靠性用于安全联锁报警的流量仪表如果不可靠，应该联锁动作时不动作，容易酿成事故，不该动作时乱动作，容易导致不应有的停车，造成损失。工业炉窑中的燃料流量计如果不可靠，造成流路堵塞，容易导致炉子熄火，酿成事故。在容积式和差压式流量计中，被测流体的密度可能变化30％，这会使流量产生30～40％的误差。用于过程控制的流量仪表如果不可靠，容易为调节系统发出错误信息，导致调节系统失调，破坏生产过程的稳定，影响产品的质量、产量和物耗，造成损失。可以看出，流量仪表的可靠性是较为重要的。

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