什么是流量控制器
质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。二、设备在使用条件上必须进行零点标定,该设备时属于在线使用高精的测量仪表,长期使用时一定要定期的进行标定。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
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流量控制器如何测混合气体的流量?
质量流量计是采用感热式测量百,通过分体分子带走热量多少从而来测量流量,因为是用感度热式测量,所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果 。
即气体流过加热元件时将热量带走,带走的热量与气体的流速问和气体的密度成正比。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热答元件提供更多的功率,电路中输出功率的大小与流体的质量有关,由此测量流专量。
此方法,日系发动机常用。
流量控制器概述简介
质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表,设定电位器,外设、内设转换和三位阀控开关等。由于变送器是以单片机为核心的智能仪表,因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。质量流量计组态灵活,功能强大,性能价格比高,是新一代流量仪表。
测量管道内质量流量的流量测量仪表。在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下,若仅测量体积流量,则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。质量流量控制器的设定值可以通过模拟电压、模拟电流,或者计算机、PLC提供。在容积式和差压式流量计中,被测流体的密度可能变化30%,这会使流量产生30~40%的误差。随着自动化水平的提高,许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。化学反应过程是受原料的质量(而不是体积)控制的。蒸气、空气流的加热、冷却效应也是与质量流量成比例的。产品质量的严格控制、飞机的燃料量控制,也都需要准确的质量流量测量。因此质量流量计是一种重要的流量测量仪表。