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发布时间:2021-07-03 05:40:00 作者:厚礼博
使用流量控制器害怕什么?
怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差, 要求在进气口前加装过滤器;
怕液体和油污进入MFC, 会造成失控, 如果MFC的出口接有液体罐, 需要在MFC出口加上单向阀, 防止液体回流;
怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成MFC通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;
怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。正确使用, 安全操作, 对每个用户都是重要的。
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流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。1,此时自然对流换热与由于流体运动所导致的受迫对流换热相比十分微弱。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。
流量控制器容易受这几个方面的影响
质量流量控制器是一种测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿,可根据需要进行流量设定,自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制,是用于对于不同气体的比例控制。表4列举Sierra公司对带测量管浸入式TMF所规定的上直管段长度。直接测量气体的质量流量,输出质量流量信号,不用其他设备。可以的测量微小流量,采用分流装置,又可以测量大流量,而且温度,压力范围很大。
一、压力状况
在加气机中使用的质量流量控制器测量的气体的压力不低于20MPa,压力远远大于大气压。高压改变了振动管的内应力,提高了弹性管的等效刚度,从而使振动管的振动频率增大,两管的相位差减小;气体流经振动管时,存在压降,使得振动管受力不对称,这也对相位差有影响。为避免测温和加热元件因与被测流体直接接触而被流体玷污和腐蚀,可采用非接触式测量方法,即将加热器和测温元件安装在薄壁管外部,而流体由薄壁管内部通过。
二、温度影响
用于加气机的CMF工作温度远低于室温,温度影响必须考虑;介质温度或环境温度变化会改变测量振动管的杨氏模量和影响零漂的结构等各种因素。
三、流速问题
压缩气体密度低,流速快,其影响不能忽略。理想情况下,流速增大则振动管的振动频率减小。通常流体密度变化小,可以认为流速与流体质量流量正比,因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。
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流量控制器
怎样选择流量显示仪?
我们的流量显示仪非常丰富,可供用户选择的余地很大。
我们有单通道(配接一台MFM/MFC)和多通道(配接多台MFM/MFC)产品;多通道产品中又有共用显示和分别显示之分(前者体积较小,价格稍便宜,但显示需切换;后者体积较大,但显示直观);有台式﹑仪表式﹑和上架机箱式;质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。有输入输出只能是电压信号的,也有电压和电流信号都行的;多数产品使用交流220V电源,也有产品可使用交流110V电源;有MFC和MFM都能配的,也有单配MFM的。
还有流量积算仪可进行瞬时流量和累积流量的显示。
将流量显示仪安装在机柜上的用户,请注意安装的开孔尺寸。
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