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流量控制器的特点

地定量控制流量

质量流量控制器可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。

适用范围宽

有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品流量范围可达0～5 sccm，流量范围可达0～200 slm。与热式原理不同，ALICAT质量流量计、质量流量控制器采用层流压差技术，依托***的层流片结构将气体由湍流转为层流运动，通过测量层流片两端气体压力差的方法来测量流量。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%， 流量控制范围是满量程的2～100% 量程比为-- 50:1， 因此在很多领域得到广泛应用。

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如何提高流量控制器的准确度？

提高气体质量流量控制器实用准确度的措施为：

1.针对气体质量流量控制器的实际工艺参数，对该流量计进行“个性化标准”，从而实现在实际使用流量点的一定范围内，该气体质量流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。

2.把好气体质量流量控制器的安装环节，减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。

3.考虑工艺压力、温度等对气体质量流量控制器测量准确度的影响。

4.把好气体质量流量控制器的投用关。

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流量控制器

怎样选择流量显示单位？

我们的流量显示仪一般提供三种流量显示单位，即百分比﹑SCCM﹑SLM。出厂前根据用户的要求设定。举个例子，容许范围2%表示流量波动在设定值的2%以内即为稳定。按百分比显示的方式，即是将 MFM / MFC 的流量测量值按其占满量程的百分比来显示，例如，规格为50SCCM的MFM/MFC，当显示值为80%时，实际的流量为40SCCM。对任何一种规格的MFM/MFC，满量程值都显示为100%。这种方式通用性好，可配不同量程的MFM/MFC，但不直观，有的用户不习惯。

按 SCCM或 SLM显示，出厂时对流量显示的范围与相应的MFM/MFC的量程进行匹配，使用时显示值即是流量值，很直观，符合习惯，为多数用户所采用。 匹配好后，原则上也能接其它量程的MFM/MFC使用，只是显示值需要修正。