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流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。在容积式和差压式流量计中，被测流体的密度可能变化30％，这会使流量产生30～40％的误差。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。

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流量控制器如何测混合气体的流量？

质量流量计是采用感热式测量百，通过分体分子带走热量多少从而来测量流量，因为是用感度热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果 。

即气体流过加热元件时将热量带走，带走的热量与气体的流速问和气体的密度成正比。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热答元件提供更多的功率，电路中输出功率的大小与流体的质量有关，由此测量流专量。

此方法，日系发动机常用。

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流量控制器

选择产品和订货时应当注意

注意选择合适的响应时间指标

有的应用系统对MFC的响应时间有较高的要求，用户应根据自己的情况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时，还应注意其响应过程及动态特性。

注意对安装位置有无要求

有的厂家的产品要求必须水平位置安装。

注意使用气体和适用范围

MFM/MFC 对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质（特别是使用对腐蚀性气体）情况等均有一定适用范围，请注意阅读说明书或向厂家咨询。

注意接头形式

通常有双卡套(Swagelok)和VCR两种接头可以选择, VCR接头性能更好适合于应用。

订货应注明：

产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体（特别是腐蚀性气体）、接头形式和数量。