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流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料?

质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。若采用恒定温差法，即保持两点温差不变，则通过测量加热的功率也可以求出质量流量。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。

由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。即气体流过加热元件时将热量带走，带走的热量与气体的流速问和气体的密度成正比。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;  三氯化硼等——需要采用全氟橡胶。

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什么是流量控制器

质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。

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流量控制器

注意选择正确的工作压力指标

不同的产品工作压力指标可能不同，注意选择适合自己的产品。

质量流量控制器（MFC）除工作压力之外，还有另一项工作压力指标：工作压差，即MFC进气端和出气端之间的压差，选型时要注意，使用时也要注意。

 注意选择合适的精度指标

准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标，其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求高，应考虑自己的实际需要。

如果对厂家给出的指标不放心，有条件的用户也可以自己标定一下。标定的方法参见下面的有关内容。