广东气体热质量流量计原理诚信企业「厚礼博」

流量控制器基本原理

通过测量气体流经流量器内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。4毫秒到达设定值，从示波器波形图中可以清晰地观察到：50%那段跨度，低于10%和高于90%那两段的跨度则小了很多。气体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个作为温度检测，另一个作为加热器。温度传感元件用于检测气体温度，加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体质量流量，即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。

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流量控制器优点

热式质量流量器可测量低流速(气体0.02~2m/s)微小流量;浸入式热式质量流量计可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s)，插入式热式质量流量计更适合于大管径。

热式质量流量计无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小;带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。

热式质量流量计使用性能相对可靠。与推导式质量流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。

热分布式仪表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右;用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可;用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。

气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。

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质量流量计如何工作的

热式气体质量流量计件由两个插入流体管道中的圆柱形探头构成。被加热探头里面含有一个加热器，在靠近壁面附近布置一个温差热电偶并用导热系数与密度之比较大的石墨填充。探头内布置一个热电偶并用石墨填充。为更好的进行动态测量，所用热电偶均采用直径为0.1mmK型的NiCr-NiSi.。三,要在MFC气路前面加减压阀,稳定入口气压,在MFC下游加背压阀,稳定反应室和MFC出口的气压,适当调节减压阀和背压阀,要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。系统热平衡分析当流量传感器被置于流体管道中，在流态稳定时，探头与周围介质处于近似的热平衡状态，这时流体、探头、测量杆和管道组成一个传热系统，此时的系统热平衡方程为：传感器世界2007.9.静态变化函数曲线气流方向阀门待标定流量计。标定方案示意图。标定曲线利用传热学理论，结合热式流量计应用的工况场合，对于实际的热交换过程有： 1、热探头与流体间的对流换热对流换热a包括受迫对流换热和自然对流换热。假设流管横置，热探头壁面与流体温差为60*C，则当流体流速大于1m/s时，G/e2<0.1，此时自然对流换热与由于流体运动所导致的受迫对流换热相比十分微弱。实际测量中G/2<<1，可以忽略自然对流换热的影响。 2、热探头向测量杆构架的导热02随着构架材料导热系数的不同，02差别很大。在探头设计中，尽可能采用导热系数小的材料制造构架并采用绝热、绝缘硅胶对探头密封以减少导热量。导热量02计算公式如下：，dt A一杆构架的横截面积；A―杆构架导热系数。 3、热式气体质量流量计热探头向周围的辐射换热03热探头表面温度为，它要向气流和另一个探头进行辐射换热。将探头表面磨光或镀上一层发射率小的金属并使其温度保持在100*C之内，以减小辐射换热。根据辐射换热公式：一斯特藩一波尔兹曼常数；4一探头外表面面积；一热探头温度；T：来流温度。

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流量控制器内有水怎么办及注意事项

一、当无法忍受渗水后不得不购买一批新的设备，现在就不需要使用这种方法了，当再有液态氨进入到质量流量计或质量流量控制器内部时，只需简单地用高压氨气冲洗管路后进行消毒即可。

二、排除液体的方法是怎样的呢？液体中含有悬浮颗粒物，抽湿过程可能会留下固体颗粒，从而导致质量流量计或质量流量控制器内留有残渣。此热传递正比于气体质量流量，即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。如果设备是316L不锈钢结构的耐腐蚀系列，那您大可高枕无忧，因为耐腐蚀系列的结构与液体流量计、液体流量控制器基本相同，可较大的程度地允许液体渗入。

质量流量计在平时使用的时候需要注意哪些事项呢？

一、在使用质量流量计的时候需要防止人为的断电以及拆线，因为采取断电以及拆信号线的方法会使得设备短时间不计量还会导致计量纠纷。

二、设备在使用条件上必须进行零点标定，该设备时属于在线使用高精的测量仪表，长期使用时一定要定期的进行标定。

三、超过质量使用范围会导致仪表测量的精度下降，还会导致仪表损坏等。

四、设备的精度高，所以价位也会高，并且还需要精心的维护，在振动以及使用条件进行经常检查等，确保精度以及仪表的安全。

五、设备的应用成功与否跟安装是有直接关系的，，需要整齐的安装外，还需要减少振动的影响。

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