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流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器，用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则，确定流体的流率.随着流体通过传感器，热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加，热量被传递.通过了解媒体的温度，即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。

国内很大部分烘炉、熔炉和电炉设备的陈旧、落后，将趋向淘汰更新，我国对热加工设备的需求十分强劲，现代炼铁绝大部分采用高炉炼铁，个别采用直接还原炼铁法和电炉炼铁法。

随着电炉行业快速的发展，目前热式气体质量流量控制器、质量流量计在电炉行业中，也广泛使用。热式气体流量计在电炉里面，主要是做气氛保护，让烧结更为方便快捷，根据电炉的工作功率大小，需要配比不同流量和介质的气体质量流量控制器。还主要应用在化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所。

厚礼博的气体质量流量控制器/流量计通道采用的材料为：SUS 316L、氟橡胶、丁晴等耐腐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下，可以用于控制一般的腐蚀性气体。安装尽量保持水平安装，但本公司的产品对安装位置并不是特别敏感，可以任意位置安装，非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后再工作。厚礼博期待成为您事业上的好伙伴。

厚礼博的热式气体质量流量控制器/流量计的测量范围从：5sccm—1500SLM，能满足市面上绝大多数的电炉使用要求。气体的介质也能按照用户的使用要求来标定，如空气等气体质量流量控制器，都能根据用户的实际使用来进行选型和标定。数据可以远程传输，可选0-5V的电压、4-20mA电流以及RS485 modbus协议的通讯信号，流量计算器价格，本产品抗干扰能力强、精度高、稳定性好，大大节约人工成本提高工作效率。

质量流量控制法的配气装置

SSGM系列的配气装置采用质量流量控制法，经过持续不断的改进和创新，仪器性能及指标进一步提高，流量计算器，具有极高的灵敏度，很高的稳定性和适应力，可适应各种恶劣的工作条件。配气装置采用质量流量控制法，控制气体的进气量，结合本公司特有的新型计算方法，综合得出的一款全自动配气装置。质量流量控制装置在制造工艺中对供给的气体的质量流量进行控制等目的而被广泛使用。

质量流量控制装置(质量流量控制器)是至少包括测量流体的流量的流量计、控制流体的流量的流量控制阀、管路保护系统，压力测试装置等硬件部分，通过可编程控制器对流量计和流量控制阀进行控制的控制电路及其他零部件的控制设备。质量流量是一种保证监测数据准确可靠的方法，也是科学管理实验室和检测系统的有效措施，流量计算器哪家好，它可以保证数据质量，使流量的检测和控制建立在可靠的基础之上。

配气装置主要是针对实验室及各种环境下所需要的模拟气体成分。依据比例自行设置混合输出的装置。主要重要部件为质量流量控制器，利用其高精度、高准确性的特点，准确控制各个气体组成成分的输入量，经由设计及生产的混气腔室后输出。配气过程直观，调整便捷，为纯机器结构，使用寿命长，流量计算器厂家，安全和可靠，体积小巧、重量轻，携带和使用方便，可实现双元或多元气体同步混合，混气过程复现性优良，比例稳定。