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气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用

真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。

热式气体质量流量计

热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。

质量流量控制器

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，经历成膜过程，形成薄膜。

质量流量控制器的使用范围和控制范围有多广泛？

关于气体质量流量计的标准状态，主要是指在标准状况（STP）0℃( 273K)、1.01×10^5Pa下，1摩尔任何理想气体所占的体积都约为22.4升，流量控制仪价格，这个体积叫做该气体的摩尔体积，流量控制仪厂家，单位是L/ mol（升/摩尔） ，即标准状况下(STP)气体摩尔体积为 22．4L/mol。在25℃，1.01×10^5Pa时气体摩尔的体积约24.5L/mol。

采用全新的进口传感技术以及高精度的机械加工技术，能实现微小流量测量和控制，其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿，广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

热式气体质量流量控制器和热式流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表。即利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。

流量控制器在自动配气仪中的应用

高精度气体稀释装置是一种用于物理学、化学、环境科学技术及资源科学技术领域的计量仪器，流量控制仪，其工作原理是能对气瓶中的高浓度气体进行大比例稀释混合。根据气体方程式，仪器可自动计算配比浓度。有些型号可选配自校准和自诊断功能。混合气体的精度、稳定性取决于使用的高精度气体质量流量控制器。

质量流量控制器(流量计)由质量流量传感器，分流器通道，流量控制仪哪家好，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。从而得到设定的气体浓度。