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什么是流量控制器
质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,小流量流量计多少钱,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
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流量控制器如何测混合气体的流量?
质量流量计是采用感热式测量百,通过分体分子带走热量多少从而来测量流量,因为是用感度热式测量,小流量流量计哪家好,所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果 。
即气体流过加热元件时将热量带走,带走的热量与气体的流速问和气体的密度成正比。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热答元件提供更多的功率,电路中输出功率的大小与流体的质量有关,小流量流量计哪里有,由此测量流专量。
此方法,日系发动机常用。
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质量流量控制器原理
质量流量控制器是利用热传导原理测量流体流量的仪表,质量流量控制器采用恒温差法对气体质量流量进行准确测量。质量流量控制器具有体积小,小流量流量计,数字化程度高,安装方便,测雖确等优点。质量流量控制器可用于玻璃、太阳能、大气监测、工业制作、石油石化、煤炭冶金、制气配气、环保等各种工业企业的气体管路分配控制、烃类气体、可燃性气体、烟道气等气体的质量流量或实际工况的体积流量测量和监控。
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