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什么是流量控制器
质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),涡街流量计,不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,涡街流量计价格,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,涡街流量计报价,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
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流量控制器
数字化质量流量控制器的发展情况如何? 有些什么特点?
数字化质量流量控制器起源于上世纪八十年代末期, 现在在国外, 有逐步普及的趋势。在国内, 2004年中法合资的七星弗洛尔公司已有AFC系列数字化MFC/MFM批量投产。
数字化质量流量控制器有两种类型,涡街流量计公司, 一种是数字模拟兼容产品, 一种是全数字化产品。数字模拟兼容类产品采用与模拟流量计一样的±15V电源, 输入输出信号除了有模拟的+5VDC信号外, 还具有RS232/RS485串行通讯口。数字模拟兼容的MFC当设置为模拟式时, 可以直接替换模拟式MFC, 无需做其它更改。全数字化类型产品通常采用24VDC单电源, 没有模拟输入输出信号, 只有现场总线通讯信号。

流量控制器
气体质量流量单位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。


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