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流量控制器

数字化质量流量控制器的发展情况如何? 有些什么特点?

数字化质量流量控制器起源于上世纪八十年代末期， 现在在国外， 有逐步普及的趋势。在国内，液体质量流量计厂家， 2004年中法合资的七星弗洛尔公司已有AFC系列数字化MFC/MFM批量投产。

数字化质量流量控制器有两种类型，涡街流量计厂家， 一种是数字模拟兼容产品， 一种是全数字化产品。数字模拟兼容类产品采用与模拟流量计一样的±15V电源， 输入输出信号除了有模拟的+5VDC信号外， 还具有RS232/RS485串行通讯口。数字模拟兼容的MFC当设置为模拟式时， 可以直接替换模拟式MFC， 无需做其它更改。全数字化类型产品通常采用24VDC单电源， 没有模拟输入输出信号， 只有现场总线通讯信号。

什么是流量控制器

质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。

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流量控制器优点

热式质量流量器可测量低流速(气体0.02~2m/s)微小流量;浸入式热式质量流量计可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s)，插入式热式质量流量计更适合于大管径。

热式质量流量计无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小;带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。

热式质量流量计使用性能相对可靠。与推导式质量流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，流量计厂家，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。

热分布式仪表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右;用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可;用于其他气体可用比热容换算，智能电磁流量计厂家，但偏差可能稍大些。

气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。

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