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流量控制器

数字化质量流量控制器的发展情况如何? 有些什么特点?

数字化质量流量控制器起源于上世纪八十年代末期， 现在在国外， 有逐步普及的趋势。在国内，精密气体流量计哪家好， 2004年中法合资的七星弗洛尔公司已有AFC系列数字化MFC/MFM批量投产。

数字化质量流量控制器有两种类型， 一种是数字模拟兼容产品，精密气体流量计公司， 一种是全数字化产品。数字模拟兼容类产品采用与模拟流量计一样的±15V电源， 输入输出信号除了有模拟的+5VDC信号外， 还具有RS232/RS485串行通讯口。数字模拟兼容的MFC当设置为模拟式时， 可以直接替换模拟式MFC，精密气体流量计， 无需做其它更改。全数字化类型产品通常采用24VDC单电源， 没有模拟输入输出信号， 只有现场总线通讯信号。

流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程， 在工作的过程当中， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降， 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa， 若压差低于值(0.1 MPa)，精密气体流量计厂家， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa)， 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时， 无论用户工作的反应室是真空还是高压， 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内， 并且要求气压要相对稳定。

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如何提高流量控制器的准确度？

提高气体质量流量控制器实用准确度的措施为：

1.针对气体质量流量控制器的实际工艺参数，对该流量计进行“个性化标准”，从而实现在实际使用流量点的一定范围内，该气体质量流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。

2.把好气体质量流量控制器的安装环节，减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。

3.考虑工艺压力、温度等对气体质量流量控制器测量准确度的影响。

4.把好气体质量流量控制器的投用关。

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