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流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器，用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则，确定流体的流率.随着流体通过传感器，热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加，热量被传递.通过了解媒体的温度，即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。

热式气体质量流量控制器主要是用来控制各种气体的不同流量，用户一般使用的气源气体浓度为999，大流量流量计厂家，有些是9999。那么有些用户在使用超低浓度的气体时，是否还能用热式气体质量流量控制器来控制吗？低浓度的气体流经和通过流量计的时候，是否需要注意哪些问题呢？以及对气体的浓度有什么影响吗？

流量控制器

紧凑而坚固的仪器设计，为连续质量流量测量确保了重复性，大流量流量计报价，用途非常广泛，可用于许多不同的行业和应用。安装位置以及安装方向对质量流量的检测无任何影响，即可随意安装且无直管段要求。本公司生产和销售的质量流量计和控制器过流阀体均采用316L不锈钢的材质，稳定性好，上海大流量流量计，接触各种气体时很少会发生反应，故是适用于绝大多数的气体。在使用低浓度气体时，用户在订货时需特殊说明一下，本公司会根据实际使用，来选择相对应的密封材质，从而达到更好的适配性。即使是低浓度的气体，在通过流量计的时候，也是不会有吸附或干扰性的。

气体质量流量控制器怎么来控制液氮的流量呢？液氮是指液态的氮气。液氮是惰性，无色，无臭，无腐蚀性，不可燃，温度极低的液体，大流量流量计价格，汽化时大量吸热接触造成。在工业中，液态氮是由空气分馏而得，将空气净化后，在加压、冷却的环境下液化，借由空气中各组分之沸点不同加以分离。

气体质量流量计和流量控制器是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。